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一、先進(jìn)技術(shù)解析

（一）旋轉(zhuǎn)式分子篩吸附濃縮 + RTO 技術(shù)

• 技術(shù)原理

• 吸附濃縮：旋轉(zhuǎn)式分子篩吸附輪是核心部件，其表面的分子篩具有特殊的孔隙結(jié)構(gòu)和吸附性能。電子廠排放的低濃度、大風(fēng)量廢氣通過吸附輪時(shí)，其中的 VOCs 被分子篩吸附，潔凈氣體排出。隨著吸附輪的緩慢旋轉(zhuǎn)，吸附飽和的區(qū)域進(jìn)入脫附階段，通過熱風(fēng)等方式使 VOCs 從分子篩上脫附下來，實(shí)現(xiàn)濃縮。

• 燃燒處理：濃縮后的高濃度 VOCs 廢氣被送入蓄熱式熱力焚燒爐（RTO）。在 RTO 內(nèi)，廢氣被加熱至 700 - 850℃，VOCs 在此高溫下充分燃燒，轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水等無害物質(zhì)。燃燒產(chǎn)生的高溫?zé)煔馔ㄟ^蓄熱體，將熱量傳遞給蓄熱體后排出，蓄熱體則將熱量儲存起來，用于預(yù)熱下一批進(jìn)入的廢氣，極大提高了能源利用效率。

• 適用場景

• 適用于計(jì)算機(jī)制造、電子真空器件制造、半導(dǎo)體及集成電路制造等電子工業(yè)生產(chǎn)工藝廢氣的治理。這些行業(yè)生產(chǎn)過程中排放的廢氣通常具有低濃度、大風(fēng)量的特點(diǎn)，旋轉(zhuǎn)式分子篩吸附濃縮 + RTO 技術(shù)能夠高效應(yīng)對。

• 對于印刷或涂布工藝產(chǎn)生的無組織廢氣，收集后先采用吸附技術(shù)預(yù)濃縮，再經(jīng) RTO 治理，可有效實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。

• 技術(shù)優(yōu)勢

• 高去除效率：多室床式或旋轉(zhuǎn)式 RTO 的 VOCs 去除效率通常可達(dá) 95% 以上，兩室 RTO 的 VOCs 去除效率也能達(dá)到 90% 以上，能有效降低電子廠廢氣中的 VOCs 濃度，滿足嚴(yán)格的環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。

• 節(jié)能高效：通過蓄熱體對燃燒熱量的回收利用，大幅減少了能源消耗。在中大型企業(yè)中，還可通過余熱回用進(jìn)一步降低運(yùn)行費(fèi)用，實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益與環(huán)境效益的雙贏。

• 局限性

• 在非連續(xù)生產(chǎn)工況下或入口廢氣濃度水平波動較大時(shí)，該技術(shù)治理廢氣的能耗會增加。因?yàn)槲綕饪s和燃燒過程需要穩(wěn)定的廢氣流量和濃度條件來維持高效運(yùn)行，工況不穩(wěn)定會導(dǎo)致設(shè)備頻繁調(diào)整，增加能源消耗。

（二）減風(fēng)增濃 + RTO 技術(shù)

• 技術(shù)原理

• 減風(fēng)增濃：運(yùn)用冷凝濃縮、膜分離濃縮等技術(shù)手段，對電子廠排放的廢氣進(jìn)行處理。通過降低廢氣風(fēng)量，同時(shí)提高廢氣中 VOCs 的濃度，使廢氣更適合后續(xù)的 RTO 處理。例如，冷凝濃縮利用不同物質(zhì)沸點(diǎn)的差異，將廢氣冷卻使 VOCs 冷凝成液體，從而實(shí)現(xiàn)分離和濃縮；膜分離濃縮則是利用特殊的膜材料，對廢氣進(jìn)行選擇性透過，使 VOCs 富集。

• 燃燒處理：與旋轉(zhuǎn)式分子篩吸附濃縮 + RTO 技術(shù)中的 RTO 部分原理相同，將增濃后的高濃度 VOCs 廢氣在 RTO 中高溫燃燒，轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)，并利用蓄熱體回收熱量。

• 適用場景

• 適用于電子廠等各類企業(yè)，尤其對于廢氣排放量大且濃度較低的情況，減風(fēng)增濃技術(shù)可有效減少廢氣處理量，降低 RTO 設(shè)備的規(guī)模和投資成本。

• 技術(shù)優(yōu)勢

• 成本降低：減少了廢氣處理量，降低了設(shè)備投資和運(yùn)行成本。同時(shí)，增濃后的廢氣在 RTO 中燃燒更穩(wěn)定高效，減少了輔助燃料的消耗。

• 資源回收：在減風(fēng)增濃過程中，部分有價(jià)值的有機(jī)溶劑可被回收利用，實(shí)現(xiàn)資源的循環(huán)利用，進(jìn)一步提高企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益。

（三）蓄熱催化燃燒技術(shù)（RCO）

• 技術(shù)原理

• 催化燃燒：在催化劑的作用下，廢氣中的 VOCs 在較低溫度（一般 300 - 500℃）下發(fā)生氧化反應(yīng)，生成二氧化碳和水。催化劑能夠降低反應(yīng)的活化能，使反應(yīng)更容易進(jìn)行。

• 蓄熱回收：增加了蓄熱體，廢氣首先通過蓄熱體被預(yù)熱到一定溫度，然后進(jìn)入催化燃燒室進(jìn)行反應(yīng)。燃燒后的高溫氣體通過另一組蓄熱體，將熱量傳遞給蓄熱體后排出，蓄熱體儲存熱量用于預(yù)熱下一次進(jìn)入的廢氣，提高能源利用效率。

• 適用場景

• 適用于對溫度較為敏感、VOCs 濃度適中的電子廠廢氣治理，例如一些對溫度控制要求較高的電子元器件生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣。

• 技術(shù)優(yōu)勢

• 低溫燃燒：相比傳統(tǒng)燃燒技術(shù)，RCO 在較低溫度下進(jìn)行反應(yīng)，減少了高溫燃燒帶來的能源消耗和設(shè)備損耗，同時(shí)降低了氮氧化物等二次污染物的生成。

• 高效節(jié)能：蓄熱體的應(yīng)用使能源得到充分回收利用，運(yùn)行成本較低，且 VOCs 去除效率高，一般可達(dá) 95% 以上。

（四）催化燃燒技術(shù)（CO）

• 技術(shù)原理

• 廢氣中的 VOCs 在催化劑表面發(fā)生氧化反應(yīng)，催化劑降低了反應(yīng)所需的溫度，使 VOCs 在相對較低的溫度下（一般 200 - 400℃）轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水。常見的催化劑有貴金屬催化劑（如鉑、鈀等）和非貴金屬催化劑（如過渡金屬氧化物等）。

• 適用場景

• 適用于中低濃度的 VOCs 廢氣治理，對于一些成分相對簡單、濃度不是特別高的電子廠廢氣有較好的處理效果。

• 技術(shù)優(yōu)勢

• 能耗較低：相比直接燃燒，催化燃燒在較低溫度下進(jìn)行，減少了燃料消耗，降低了運(yùn)行成本。

• 設(shè)備相對簡單：不需要復(fù)雜的蓄熱裝置等，設(shè)備占地面積相對較小，投資成本相對較低。

二、有電鍍生產(chǎn)工藝企業(yè)的廢氣處理

• 原理：噴淋塔內(nèi)設(shè)置多層噴淋裝置，將堿性吸收液（如氫氧化鈉溶液）均勻噴灑。硫酸霧等酸性污染物與堿性吸收液發(fā)生中和反應(yīng)，生成鹽和水，從而被去除；氰化氫等污染物也能通過與吸收液中的特定成分反應(yīng)而被吸收。

• 流程：廢氣從噴淋塔底部進(jìn)入，自下而上流動，與自上而下噴淋的吸收液充分接觸反應(yīng)。凈化后的氣體從塔頂排出，達(dá)標(biāo)排入大氣。吸收液在塔底收集后，可根據(jù)需要進(jìn)行處理和循環(huán)使用。